全光谱椭圆偏振测厚仪SE950 核心参数
| 波长范围: | 220~950nm | 测量准确度: | Tan(psi)≤0.01,cos(delta)≤0.01标准片 at 633nm） |
| 重复性: | 膜厚重复性<(1 sigma,5 times) 0.2nm基于110nm标准片 |
详细介绍
全光谱椭圆偏振测厚仪
全光谱椭圆偏振测厚仪仪，为R&D和QC提供各种功能材料的光学常数测量及光谱特性数据分析，速度快，精度高
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| 波长范围: | 220~950nm | 测量准确度: | Tan(psi)≤0.01,cos(delta)≤0.01标准片 at 633nm） |
| 重复性: | 膜厚重复性<(1 sigma,5 times) 0.2nm基于110nm标准片 |
全光谱椭圆偏振测厚仪
全光谱椭圆偏振测厚仪仪，为R&D和QC提供各种功能材料的光学常数测量及光谱特性数据分析，速度快，精度高
