赛默飞在线气体质谱仪是通过对样品离子质荷比的测定来分析其组成的一类仪器。是定性和定量分析的有用工具。同红外光谱大致相同，碎片图表示分子的“指纹印”，并帮助识别和收集各种结构和键能的资料。试样必须是气体，或者是能挥发的物质。通常，多元混合物易于分析。
质谱分析法是以电子轰击或其它的方式使被测物质离子化，形成各种质荷比（m/z）的离子。利用不同离子在磁场或电场的运动轨迹不同，把离子按照质荷比分开而得到质谱图，从而得到样品的分析结果。基于这个原理，在线质谱仪的分析速度非常快，可达到ms级，因此特别适合快速反应过程以及多位点的同时监测。赛默飞在线气体质谱仪工作流程为：气体样品→进样系统→离子源→质量分析器→离子检测器→数据处理及控制系统，离子源、质量分析器、离子检测器必须在真空下工作（10–4pa)。
它结合创造性的新特征和经过实践验证的成熟的同位素质谱技术，是多接收静态惰性气体质谱迈进的重要一步。专为微量样品稀有气体分析而设计的高分辨磁质谱，可实现氖、氩、氪、氙惰性气体中任何五个同位素的同时检测。该系统可测量氖、氩、氪和氙的同位素。同时多达5个同位素的多接收测量无需跳峰，减少了分析时间，获得了更高的精度和产出效率；赛默飞在线气体质谱仪可以进行跳峰测量，如氦同位素；标准分辨率接收器>750(10%峰谷)能够解决标准碳水化合物干扰，而>1500（10%峰谷）分辨的高分辨接收器能够使得很多科学问题得到解决。